其他电子混合气其他电子混合气序号组分气稀释气组分气含量范围1氯化氢(HCl)氧、氮1％～10％2硒化氢(H2Se)氩、氦、氢、氮(5～5000)×10-63锗烷(GeH4)氩、氮、氢、氮1...

蚀刻混合气蚀刻就是将基片上无光刻胶掩蔽的加工表面（如金属膜、氧化硅膜）蚀刻掉，而使光刻胶掩蔽的区域保存下来，以便在基片表面上获得所需要的成像图形。蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。干法化学蚀刻所...

掺杂混合气在半导体气体和集成电路制造中，将某些杂质掺入半导体材料内，使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率，以制造、PN结、埋层等。掺杂工艺所用的气体称为掺杂气体。主要包括砷烷、磷烷、三氟化磷、五...