外延（生长）混合气在半导体工业中，在仔细选择的衬底上选用化学气相沉淀的方法，生长一层或多层材料所用的气体叫做外延气体。常用的硅外延气体有二氯二氢硅、四氯化硅和硅烷等。主要用于外延硅沉淀，多晶硅沉淀，...
零级空气零级空气是一种常见的气体混合物，它的主要成分由氧和氮组成。零级空气中一般要求总烃含量小于2×10-6、水分含量小于5×10-6[12]。零级空气可采用不同的方法脱除干燥空...
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