SIR5000光掩膜修补装置产品型号：SIR5000产品特点：1.采用新型的离子束光学系统，实现了离子束更细微化的聚焦。与现有的机型相比，实现了对更微小的缺陷部分的观察和修正。2.修正精度达到15n...
SIR7000FIB光掩膜修补装置产品型号：SIR7000FIB产品特点：1.修正精度从原来的15nm(3σ)提升到10nm(3σ)，采用新型的离子束光学系统，加之提高了离子束照射位置的稳定性，同时...
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