外延（生长）混合气
在半导体工业中，在仔细选择的衬底上选用化学气相沉淀的方法，生长一层或多层材料所用的气体叫做外延气体。常用的硅外延气体有二氯二氢硅、四氯化硅和硅烷等。主要用于外延硅沉淀，多晶硅沉淀，氧化硅膜沉淀，太阳能电池和其他光感受器的非晶硅膜沉淀等。外延生长是一种单晶材料沉淀并生长在衬底表面上的过程。
序号
组分气体
稀释气体
1
硅烷
氦、氩、氢、氮
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