VMB系统上海尚大机电工程有限公司为半导体、集成电路、平板显示、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、生物医药等高科技行业提供高纯介质领域的全套解决方案。逐步成为行业的整体系统供应商。上海尚大机电...

手动、半自动、全自动气柜双瓶柜气瓶柜箱体采用安全设计不锈钢316材质所选用的材料适用于各种不同性质的气体尺寸根据供应气体种类的不同而变化100%内表面电解抛光无颗粒污染物泄漏率:小于1x10-9At...

三瓶柜手动、半自动、全自动气柜气瓶柜箱体采用安全设计不锈钢316材质所选用的材料适用于各种不同性质的气体尺寸根据供应气体种类的不同而变化100%内表面电解抛光无颗粒污染物泄漏率:小于1x10-9At...

气体分流盘VMP(ValveManifoldPanel)气体分流盘主要用于惰性气体的分流及输送,将压力稳定,高纯度的气体输送至设备用点.

气体分流箱VMB(ValveManifoldBox)气体分流箱主要用于半导体行业生产设备所需特殊气体的分流及输送,将压力稳定,高纯度的气体输送至设备用点.

手动/半自动/全自动汇流排材质:不锈钢/黄铜/铜镀铬工作压力:200bar/300bar出口压力设定范围:1.3~50bar流量达:180Nm3/hrN2可配声光报警器适用于O2,N2,Ar,乙炔气...

手动/半自动/全自动汇流排材质:不锈钢/黄铜/铜镀铬工作压力:200bar/300bar出口压力设定范围:1.3~50bar流量达:180Nm3/hrN2可配声光报警箱适用于O2,N2,Ar,乙炔气...

催化吸附式Catalyst&AdsorberType吸气剂式GetterType钯管式PalladiumType

干式/吸附式Dry/AbsorptionType水洗式WetType燃烧式BurnType加热水洗式Thermal&WetType燃烧水洗式Burn&WetType电浆/等离子式Pl...

干式/吸附式Dry/AbsorptionType水洗式WetType燃烧式BurnType加热水洗式Thermal&WetType燃烧水洗式Burn&WetType电浆/等离子式Pl...

干式/吸附式Dry/AbsorptionType水洗式WetType燃烧式BurnType加热水洗式Thermal&WetType燃烧水洗式Burn&WetType电浆/等离子式Pl...

干式/吸附式Dry/AbsorptionType水洗式WetType燃烧式BurnType加热水洗式Thermal&WetType燃烧水洗式Burn&WetType电浆/等离子式Pl...

尾气处理器干式/吸附式Dry/AbsorptionType水洗式WetType燃烧式BurnType加热水洗式Thermal&WetType燃烧水洗式Burn&WetType电浆/等...