气体分流盘 VMP
气体分流盘VMP(ValveManifoldPanel)气体分流盘主要用于惰性气体的分流及输送,将压力稳定,高纯度的气体输送至设备用点.
气体分流箱 VMB
气体分流箱VMB(ValveManifoldBox)气体分流箱主要用于半导体行业生产设备所需特殊气体的分流及输送,将压力稳定,高纯度的气体输送至设备用点.
汇流排
手动/半自动/全自动汇流排材质:不锈钢/黄铜/铜镀铬工作压力:200bar/300bar出口压力设定范围:1.3~50bar流量达:180Nm3/hrN2可配声光报警器适用于O2,N2,Ar,乙炔气...
自动切换汇流排
手动/半自动/全自动汇流排材质:不锈钢/黄铜/铜镀铬工作压力:200bar/300bar出口压力设定范围:1.3~50bar流量达:180Nm3/hrN2可配声光报警箱适用于O2,N2,Ar,乙炔气...