石英舟/管清洗机，可用于12英寸及以下尺寸的扩散、外延等设备的石英舟/管、碳化硅管的清洗。为了保证工艺纯度，处理过一定数量的晶圆后，石英管、石英舟必须从炉中取出并进行清洗。石英管、石英舟及相关par...
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