产品简介音圈直线电机又称为洛伦茨电机、振镜电机，因其结构类似于喇叭的音圈而得名，是一种反应频率最快的直驱式电机，音圈电机具有零磁滞、零磁槽效应，高频响，高精度，高加速，高速度，力特性好，控制方便，体...

SMAL系列运动平台是地心科技一款面向高精度、高端应用市场的气浮直线平台。凭借研发团队在材料、设计、分析方面的专业技术对平台整体进行不断设计优化，采用非接触的气浮轴承与磁预载的结构，实现无摩擦的平滑...

产品说明：Ⅰ：标准产品SMALSMAL系列运动平台是星微科技持续在材料、特有加工技术、精密结构分析和设计上不断投入的结果，我们研发的目标是为今天要求严格的半导体工业设备提供高精度和高产出率的运动系统...

SMAR系列气浮转台采用的空气轴承是通过在轴承腔内导入压力空气，由于泄压的缝隙极小从而在轴承腔和主轴间形成一层气膜以保证主轴悬浮于空气中并稳定地高精度地旋转。这种结构的转台高速度、高精确度、无噪音、...

SMH系列运动平台是地心科技一款面向中低端市场、性价比极高的精密运动定位台，通过研发团队不断优化材料及工艺使平台的平面度、直线度等方面达到，并且完全可以按照客户的需求来选择该系列高、低精度两类产品，...

气浮导轨基于空气轴承的基本原理，实现无摩擦和无振动的平滑移动。它具有运动精度高、清洁无污染等特点。同时还具有误差均化作用，因而可用比较低的制造精度来获得较高的导向精度。气浮导轨在测量仪器、精密机械中...

SMH系列运动平台是地心科技一款面向中低端市场、性价比极高的精密运动定位台，通过研发团队不断优化材料及工艺使平台的平面度、直线度等方面达到，并且完全可以按照客户的需求来选择该系列高、低精度两类产品，...