RTP快速退火炉的详细描述：该RTP快速退火炉采用：■多重灯管设计以保证温度均匀■实时闭环温度控制方式■实时灯丝电流监测以保证工艺稳定可靠性■安全监测，包括热偶测温检测、过热检测、灯丝电流检测■用户...
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