金刚石化学气相沉积系统（MPCVD）美国CTS公司提供的CTS-6U型6kW微波等离子金刚石CVD系统具有高度可重复的真空完整性设计特点，能够在接近大气压范围内运行，用于高沉积速率的单晶工艺。它还可...
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