薄膜应力测试仪薄膜应力测试仪,又名薄膜残余应力测试仪或薄膜应力仪,是专门用于测试和研究薄膜材料和薄膜制备工艺的必不可少的工具。薄膜中应力的大小和分布对薄膜的结构和性质有重要的影响,可导致薄膜的光、电...
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