韩国NTW燃烧水洗式尾气处理设备适用于：薄膜太阳能电池、PECVD、半导体、微电子等行业中产生的废气.处理的气体包括：TMA、SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3...
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