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外延(生长)混合气

外延(生长)混合气在半导体工业中,在仔细选择的衬底上选用化学气相沉淀的方法,生长一层或多层材料所用的气体叫做外延气体。常用的硅外延气体有二氯二氢硅、四氯化硅和硅烷等。主要用于外延硅沉淀,多晶硅沉淀,...

零级空气

零级空气零级空气是一种常见的气体混合物,它的主要成分由氧和氮组成。零级空气中一般要求总烃含量小于2×10-6、水分含量小于5×10-6[12]。零级空气可采用不同的方法脱除干燥空...

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