对于矩形磁控溅射靶来说，多弧磁控离子镀膜设备，由于矩形平面磁控靶不像圆形磁控靶那样具有中心对称的性质，阴极靶内的永磁体沿着靶长度方向排列成行，形成以中心线为对称轴的两个磁场。这两个磁场在靶的长度方向...

本书引用列举了２０年来国内外大量的相关文献，长治多弧磁控离子镀膜，使本书得以丰富充实，在此，多弧磁控离子镀膜技术，向文献的作者致以深切的谢意。本书的出版得益于沈阳大学出版基金的资助，多弧磁控离子镀膜...

作为气相沉积表面改性的主要技术之一的多弧离子镀技术，具有很多独特的技术特点，在机械加工、表面装饰、高温防护等应用领域获得了广泛的应用。近年来，科技人员在多弧离子镀技术的设备改进、工艺完善、膜系开发以...

利用溅射法不仅可以获得纯金属膜，也可以获得多组元膜。获得多组元膜的具有代表性的方法有三种：（１）采用合金、化合物靶：用合金或复合氧化物制成的靶，多弧磁控离子镀膜机器，在稳定放电状态，可使各种组分都发...

另一个是镀膜真空室．两个室的真空分别由一个罗茨泵或扩散泵与前一级的一个机械泵组连接以达到必要的真空压力．当工作压力达到后，多弧磁控离子镀膜设备，蒸发系统打开，被蒸镀的薄膜以可调的速度从放卷侧移到收卷...

本文的目标是通过对高速、低张力等极端情况下张力控制的分析研究，找到一套合适的张力控制模式，设计出一套用于高端电容金属化膜生产的卷绕张力控制系统，并在锌铝复合超薄电容膜设备中得到成功应用．联系本文的研...

与真空蒸镀法相比，阴极溅射具有如下特点：（１）结合力高：由于沉积到基片上的原子能量比真空蒸发镀１～２个数量级，而且在成膜过程中基片暴露在等离子区中，经常被清洗和激活，因此薄膜与基片的附着力强。（２）...

真空镀膜技术主要有真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀、真空束流沉积、化学气相沉积等多种方法。除化学气相沉积法外，其他几种方法均具有以下的共同特点：（１）各种镀膜都需要一个特定的真空环境，以保证制膜材...

（２）各种镀膜都需要有一个蒸发源或靶子以便把蒸发制膜的料转化成气体。目前由于源或靶的不断改进，从而大大地扩大制膜材料的选用范围，多弧磁控离子镀膜机器，无论是金属、金属合金、金属间的化合物、瓷或有机物...

传统的磁控溅射系统由于靶的磁场结构相对固定，其溅射速率和薄膜沉积速率变化范围不大，不能进一步优化薄膜的制备过程。可以通过改变靶磁场的内外磁极与靶表面的距离（移动距离为员缘皂皂左右）来改变靶面上的磁场...

（３）高频感应加热法。是在高频感应线圈中放入氧化铝或石墨坩埚，多弧磁控离子镀膜机器，将蒸镀的材料置于坩埚中，通过高频交流电使材料感应加热而蒸发。这种方法主要用于铝的大量蒸发，得到的膜层纯净而且不受带...

源，这实际上是不经济也办不到的．双室镀膜机的镀膜和卷绕分别在上、下两个室进行，有两套真空系统．目前，大中型蒸发卷绕镀膜机的真空室都是双室型，多弧磁控离子镀膜厂，即由隔板将其分为上、下两室．以蒸发法为...

利用溅射法不仅可以获得纯金属膜，也可以获得多组元膜。获得多组元膜的具有代表性的方法有三种：（１）采用合金、化合物靶：用合金或复合氧化物制成的靶，在稳定放电状态，可使各种组分都发生溅射，得到与靶的组成...

真空镀膜技术主要有真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀、真空束流沉积、化学气相沉积等多种方法。除化学气相沉积法外，其他几种方法均具有以下的共同特点：（１）各种镀膜都需要一个特定的真空环境，以保证制膜材...

１１２２真空溅射镀膜在真空室中，利用荷能粒子轰击材料表面，使其原子获得足够能量而溅出进入气相，然后在工件表面沉积的过程称为溅射镀。溅射镀膜的基本原理是，以镀膜材料为阴极，以工件（基板）为极，在...

在卷绕式真空镀膜机中，卷绕机构是重要组成部分．它应保证基材在卷绕过程中的速度和张力恒定，镀膜后的塑料薄膜平整、无皱纹、塑料薄膜卷筒边缘整齐．卷绕机构中起到放塑料薄膜作用的滚筒称为放膜辊，多弧磁控离子...

与真空蒸镀法相比，阴极溅射具有如下特点：（１）结合力高：由于沉积到基片上的原子能量比真空蒸发镀１～２个数量级，而且在成膜过程中基片暴露在等离子区中，多弧磁控离子镀膜厂家，经常被清洗和激活，因此薄膜与...

建筑用玻璃采用镀膜技术已经十分盛行，因为这种镀膜，多弧磁控离子镀膜工具，不但以美化和装饰建筑物，多弧磁控离子镀膜厂，而且可以节约能源近些年来，随着真空镀膜技术由过去传统的蒸发镀膜和普通二级溅射镀膜发...

早在２０世纪初，多弧磁控离子镀膜方法，大发明家爱迪生就提出了唱片蜡膜采用阴极溅射进行表面金属化的工艺方法，并于１９３０年申报了专利，这便是薄膜技术在工业应用的开始。但是这一技术当时因受到真空技术发展...

真空镀膜技术是真空应用技术的一个重要领域，它是以真空技术为基础，利用物理或化学的方法并且吸收了电子束、分子束、离子束、等离子束、射频、磁控等一系列新的技术，为科学研究与生产提供了膜层涂覆的新工艺、新...