电子工业用超纯水设备 ：
　　
一、电子工业用超纯水概述
　　半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，线宽越窄，对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。

二、制备电子工业用超纯水的工艺流程
　　电子工业制备超纯水的工艺大致分成以下3种：　 　　
    1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点 　　
    2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点 　　
    3、采用反渗透设备与电去离子（EDI）设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式，这是一种制取超纯水的工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点

三、电子工业超纯水设备特点
　　电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床（EDI电除盐系统）系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。

四、电子工业用超纯水的应用领域
　　1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水；　 　　
    2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水；　 　　
    3、实验室和中试车间用超纯水；　 　　
    4、汽车、家电表面抛光处理；　 　　
    5、光电子产品；　 　　
    6、其他高科技精微产品.

        ① 原水→精滤→超滤→反渗透→离子交换→多效蒸馏→产水
② 原水→砂滤→炭滤→（软化）→精滤→反渗透→反渗透→产水
③ 原水→砂滤→炭滤→（软化）→反渗透→离子交换→多效蒸馏→产水

实验室用高纯水机

一、简介
        实验室用反渗透纯水机符合 GB6682 － 66 规定的实验用三个等级净化水的技术要求。根据实验室的不同要求配备不同等级的反渗透纯水设备。 

二、典型工艺流程
水质符合美国ASTM标准
实验室用超纯水水质标准（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm）四级
●  预处理－反渗透－ 水箱－阳床－阴床－混合床－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－精密过滤器－用水对象
●  预处理－一级反渗透－加药机（ PH调节）－中间水箱－第二级反渗透（正电荷反渗膜）－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5 μ m精密过滤器－用水对象
●  预处理－反渗透－中间水箱－水泵－ EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5 μ m精密过滤器－用水对象
● 预处理－反渗透－中间水箱－水泵－ EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－0.2或0.5 μ m精密过滤器－用水对象

质及有机物。它可用二级水经进一步处理而制得。
二级水：可含有微量的无机、有机或胶态杂质。
三级水：适用一般实验室实验工作。