双门磁控溅射镀膜机
SMJC-900、SMJC-1200
本产品技术成熟稳定,在性能上明显优于其他产品。采用粗抽、精抽分离的双路排气系统对两个真空室交替排气,它占地面积小,电力配备比同类的镀膜机降低 30 %,产量提高了 100% .
立式双开门结构,配置两套新型蒸发电极,装夹方便快捷,保养维修简单,工件架采用齿轮传动的公自转结构,转动灵活可靠;真空机组配置先进合理,抽速快效率高节省电能,抽真空、蒸发镀膜等全部自动控制,操作系统简单、可靠、美观。 1、真空室立式双开门结构,304不锈钢或碳钢制造; 2、真空系统由机械泵、旋片泵、罗茨泵和带冷阱高真空油扩散泵组成; 3、电控系统设置电路过载、断水、断气声光报警装置; 4、控制系统(触摸屏+PLC),实时显示详细参数,全自动控制整个生产过程,并自动存储工艺参数。
(1)抽气时间:大气至5.0×10-2Pa≤7min(2)极限真空:10-4Pa(3)工件转速:0.5~8r/min(4)名义功率:128KW(5)真空室尺寸:Φ900×1250 / Φ1200×1250
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