实验型多功能镀膜机

VE-1500S

        根据实验型真空镀膜机产品说明、基本原理与功能，可知该系列产品适用于实验室和工业生产制备单质、氧化物、介电质、半导体化合物、金属陶瓷薄膜以及OLED器件等。最适用于教学及生产线前期工艺试验。

        转架转动采用变频器控制。配备触摸屏，PLC控制程序及触摸屏控制程序采用先进的多项目配方式控制管理可由用户自行设定多组蒸发控制数据并可在各组数据间自由转换；可更方便使用者在实验中稳定选取各数据；使设备使用更舒适外型美观。

1、控制方式： 手动/PLC /PLC+HMI 三种控制方式可选
2、极限真空： 6.6×10-5Pa(分子泵)、6.6×10-4Pa（扩散泵）
3、真空系统组成 ：分子泵/扩散泵+机械泵
4、抽速：从大气抽到10-3Pa小于或等于20分钟（分子泵）/50分钟(扩散泵)
5、薄膜均匀性 ：≤±5%

国防科技大学机电工程与自动化学院

       主要应用于大专院校、科研机构及企业实验室进行真空镀膜等真空处理的工艺研究、样板试制和操作培训。适用于多层膜的镀制，可制作各种滤光膜、反射膜、透射膜。单质膜、半导体膜、有机膜、氧化膜、反应膜、介质膜、高温超导膜，OLED器件等。