光伏薄膜铝背电极生产线

HD-JCW-Z1400C

    卧式连续磁控溅射镀Al膜生产线共设计有七个真空腔体部分，部分为进口室，第二部分为进口缓冲室，第三部分为进口传送室，第四部分为工艺室，第五部分为出口传送室，第六部分为出口缓冲室，第七部分为出口室；工艺室内布置六个旋转阴极，采用直流磁控溅射工艺沉积高质量的Al电极薄膜；设备设计加工尺寸为宽1100mm，长1400mm的平面基板材料，生产加工周期可优化到120秒；生产线采用分子泵抽气形成气氛隔离的先进设计，生产线共配有十八台涡轮浮分子泵以获得高效的隔离、稳定的抽速和均匀的气体分布。

设备设计尺寸：
生产线主体总长度：21m（以实际设计为准）；
工艺室：9600mm（L）×2000mm（W）×600（H）×1个（以实际设计为准）；
非镀膜室：1700mm（L）×1800mm（W）×600（H）×6个（以实际设计为准）；
门阀：150mm（L）×1800mm（W）×600（H）×6个（以实际设计为准）；
装卸架：1600mm（L）×1800mm（W）×600（H）×2个（以实际设计为准）；
升降架：1600mm（L）×1800mm（W）×600（H）×2个（以实际设计为准）；
回架：33000mm（L）×1800mm（W）×150（H）×1套（以实际设计为准）；

生产线设计技术指标：
产品尺寸：1×1100mm×1400mm×2-8mm平板型基板材料；
基片架尺寸：1500mm（L）×1300mm（W）（以实际设计为准）
镀膜材料厚度要求：SiO2膜和AZO透明导电膜
生产周期：120s/架