大面积AZO透明导电膜磁控溅射镀膜生产线

HD-JCL-Z1400A

         AZO膜生产线共设计有七个真空腔体部分，部分为进口室，第二部分为进口缓冲室，第三部分为进口传送室，第四部分为工艺室，第五部分为出口传送室，第六部分为出口缓冲室，第七部分为出口室；两对采用PCU04闭路环控制的中频孪生Si靶，形成高质量的隔离SiO2层；十对圆柱AZO靶，实现高质量的AZO透明导线膜；设备设计加工尺寸为宽1100mm，长1400mm的平面基板材料，生产加工周期可优化到100－180秒；生产线采用分子泵抽气形成气氛隔离的先进设计，生产线采用涡轮浮分子泵以获得高效的隔离、稳定的抽速和均匀的气体分布。

（1）设备类型：卧式连续磁控溅射镀膜线
（2）镀膜基片架尺寸：按照1×1100mm（W）× 1400mm(L)×3mm基片设计；
（4）膜层均匀性设计要求：在有效沉积区域内，膜层厚度均匀性≤±5％；
（6）阴极结构设计要求：采用中频孪生旋转阴极，初步确定靶规格为135mm×1400mm；
（7）设备传动方式：采用双摩擦传动的卧式小车装载进片方式（不采用滚轮设计）；
（8）镀膜工艺实现方式：采用ZnO：Al陶瓷靶，采用反应溅射沉积工艺；
（9）镀膜温度控制：采用不锈钢铠装加热装置（可以按客户要求采用灯管加热），温度为350℃，按照常温～400℃可以任意设定设计，控制稳定度为±5℃；
（10）控制系统要求：控制系统能实现人、机对话，及时对生产过程进行必要干预。运行过程有报警提示和故障显示，故障显示能提示操作人员正确的操作和排故。

1）极限真空压力：6× 1 0E-4 Pa
2）平均生产周期：80－180 秒／架
3）基片架尺寸：1100 mm× 1400mm（可以根据要求定做）
4）膜层均匀性：±5%

中国建筑材料集团

    该生产线运用在薄膜太阳能电池上，透明导电膜用为减反射层和透明电极使用，可以提高太阳能的转化效率，用AZO薄膜代替ITO薄膜，不仅可以降低生产成本，而且无毒环保，膜层性能更加稳定。