镀膜设备使用的步骤

　         湖南湘潭宏大真空设备有限公司成立于2000年，集研发、设计、生产、销售于一体，专业从事真空镀膜设备及其零部件制造。历经十余载的经营发展，公司已成功跻身高新技术企业之林，在真空设备行业的同类产品中，宏大真空的市场占有率已达到90%以上，成为国内行业领军企业，并引领中国真空镀膜设备制造业的发展。

　　　　公司主营产品：建筑装饰玻璃连续镀膜生产线，平板显示导电膜玻璃连续镀膜生产线，非晶硅薄膜太阳能电极连续镀膜生产线，装饰连续镀膜生产线，各种单体和双室真空镀膜机等六大系列20余种产品。其核心产品已通过国家真空设备质量监督检验中心检测，拥有独立的自主知识产权，不断刷新着中国真空镀膜设备的发展里程。

　一、电控柜的操作
　　1. 开水泵、气源
　　2. 开总电源
　　3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。
　　4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。
　　5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。
　　二、DEF-6B电子枪电源柜的操作
　　1. 总电源
　　2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。
　　3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。
　　三、关机顺序
　　1. 关高真空表头、关分子泵。
　　2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。
　　3. 到50以下时，再关维持泵。

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