那么现在的高效过滤器关注的是什么新问题呢？我司就这一现状进行探讨。

    现在晶片加工的水平是 0．1μm 线宽，直径 Φ300mm 的产品。上述 AMC 问题有的是由空气过滤器造成的 ( 如本身含 B 元素 ) 。日本富士通公司的研究认为：空调过程中，空气经 AHU 、风管进入建筑物 ( 建材 ) 的流程中，空气因接触空气过滤器所造成的影响要占 80 ％。

     因此要求空气过滤器自身不产生污染物是十分重要的。例如，传统的 HEPA 或 ULPA 过滤器均以超细硅硼酸玻璃纤维为原料制成的， ( 其中 SiO2 占 57．9 ％ B203 占 10 ％ ) ，从而成为洁净室内 B 污染的主要原因。玻璃纤维制成的过滤器另一个缺点是废弃后难以处理 ( 不能烧掉 ) 。用聚四氟乙稀为原料制成的 PTFE 高效过滤器虽然优点很多 ( 阻力小、强度高 ) 但价格昂贵，采用带电的有机纤维制作的高效率过滤器效率初期虽高，但随着时间而下降，因此，现在开发利用极细的有机纤维制成传统的 HEPA 过滤器，它不带电，不含 B ，散发气体少，可焚烧或再利用。