在核工业领域，广泛使用各类真空阀门，在高能物理、受控热核聚变研究中，使用高真空和超高真空阀门；在同位素分离工厂中，使用高真空和低真空阀门。
结构形式通常以金属波纹管或膜片作为阀瓣密封元件，并要求高清洁度的真空截止（节流）阀。
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