本公司生产的半导体工业用石英玻璃管和棒,在治金、化工、原子能工业、科学研究等领域要求高纯、高温、高化学稳定的作业场合也得到了广泛的应用。按生产工艺分为四类产品:
a.真空加压法管和棒;
b.电熔二步法管和棒:
c.气炼、电熔二步法管和棒;
d.气炼法管和棒本公司生产的半导体工业用石英玻璃管和棒,在治金、化工、原子能工业、科学研究等领域要求高纯、高温、高化学稳定的作业场合也得到了广泛的应用。按生产工艺分为四类产品:
a.真空加压法管和棒
化学纯度
Al、Fe、Ca、Mg、Ti、Cu、Co、Ni、Mn、K、Na、Li、B等杂质元素的总含量不大于50PPm,
其中:
Fe≤3PPm,Cu≤0.8PPm,Na≤2PPm,K≤2PPm,Li≤2PPm,B≤0.3PPm
羟基含量:电熔法≤5PPm, 气炼法≤400PPm,气炼电熔二步法≤220PPm
管子的规格尺寸
外径(mm) |
外径偏差% |
10-50 |
±3.0 |
51-70 |
±3.0 |
71-90 |
±2.7 |
91-100 |
±2.7 |
101-150 |
±2.5 |
151-250 |
±2.2 |
壁厚mm |
壁厚偏差% |
1.5-3.0 |
±12 |
3.5-4.0 |
±14 |
4.1-5.0 |
±15 |
A.长度偏差为管长的±1%。
B.偏壁度不得大于壁厚偏差的值。
C.椭圆度不得大于外径偏差的值。
D.弯曲度不得超过管长的3。
E.管长的标准长度为1000mm。
石英棒的规格尺寸
直径mm |
直径偏差% |
2-5 |
±0.4 |
5.1-8 |
±0.6 |
8.1-10 |
±0.8 |
10.1-15 |
±1.0 |
15.1-20 |
±1.3 |
20.1-25 |
±1.6 |
25.1-30 |
±2.0 |
30.1-35 |
±2.2 |
35.1-40 |
±2.5 |
40.1-50 |
±2.7 | |
A.长度偏差为管长的±1%。 B.偏壁度不得大于直径偏差的值。 C.弯曲度不超过管长的3 |