涂层重量
石英坩埚:按厂标准规定,每100立方厘米之坩埚表面之涂层不得少于1.44g,也可根据需要采用多次涂层的方法,将涂层重量增加一倍或更多。
石英制品:包括石英舟及扩散管等,其内表面之涂层重量为>1g/100c㎡
其他涂层及纯化产品
纯化产品:为了避免半导体器件闭管扩散过程中和制造砷化镓单晶等时由于石英器皿内杂质离子扩散所引起的沾污,本公司已建立了在高温下用HCl气体提纯石英器皿的工艺。经纯化处理的产品,其重金属杂质含量较原产品成倍减少。将这种产品用于硅片闭管扩散时,试验结果表明硅片的少子寿命可以提高一倍以上。
Al2O3及SiC涂层产品:为了提高扩散管的使用软化变形温度。在管的外表面涂上一层高纯Al2O3并将其烧结,这种涂层产品在1300摄氏度下的变形率较未涂层产品降低60%。若采用SiC涂层,则可将1300℃下的试验变形率降低80%。这些外表面涂层产品除了可以提高石英管的使用温度外,还能阻挡外界杂质离子向石英管内壁的渗透,从而保证了硅片电路质量。
半导体工业用高纯电弧法制石英坩埚
用电弧法制的半导体半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优
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