多晶硅还原炉钟罩清洗系统　　多晶硅还原炉钟罩自动清洗烘干系统Bell jar cleaning system 　　  多晶硅还原炉钟罩请洗系统
■适用范围 　　西门子法多晶硅还原炉钟罩（炉筒）内壁的全自动清洗和烘干。 　　■工作原理 　　以高压水射流为动力,以水力自驱动三维洗罐器为喷头，形成360°的网状喷射表面，完成钟罩内部表面的水力扫射，用专用清洗剂等为主要清洗液，用纯水（去离子水或叫脱盐水）漂洗，用高纯水冲洗，完成清洗过程。 　　用经过三级净化（10万级）的纯净空气，梯级加热，最终保证烘干完的钟罩不再结露，可直接进入生产作业。 　　■系统特点 　　1)PLC+触摸屏柔性自动控制系统，实现对还原炉钟罩的自动清洗和烘干同时具有半自动或手动功能。 　　2)可以在一套系统实现多种型号还原炉钟罩的清洗烘干。 　　3)节能、环保、安全：提供了预热（余热蒸汽、余热水或油）加热清洗水及干燥空气的方案。全密闭式清洗烘干系统，基本消除了对现场及操作人员的污染。 　　■工作流程 　　还原炉钟罩到位—预清洗—清洗剂（碱液）清洗—漂洗—高纯水冲洗—净化热空气干燥—常温干燥—钟罩吊走。 　　注：清洗剂的选择对清洗效果和作业安全有直接影响。 　　■基础条件 　　1)电源：380V/50Hz，30KW，电缆引至控制柜。 　　2)蒸汽：压力0.175-0.9Mpa（G），到指定接口点。 　　3)压缩空气：不小于流量3NM3/h，压力0.6-0.75Mpa（G）（气动阀、气缸用气）, 指定接口点。 　　4)脱盐水：可提供条件，不小于100L/min，到指定接口点。 　　5)纯水：不小于 100L/min，到指定接点。 　　6)清洗剂：NaOH清洗液等，不小于2立方米。 　　7)占地面积：36-80平方米（宽约6-7米，长6-12米 　　8)三废处理：洗涤后的含酸或碱液废水、废渣，排放到需方指定处，由需方自行处理，配排污水（池、槽）沟；清洗和烘干产生的废气做室外排空排放。 　　■设备组成 　　1)高压热水清洗动力装置1套 　　由高压热水清洗机及附件（1套），高压水自驱动三维洗罐器（1套），三维洗罐器升降装置（气动，1套）组成。 　　2)热风净化烘干机组1套 　　进风净化等级：10万级。 　　3)清洗烘干工作台及管道1套 　　4)电气控制系统1套。 　　采用PLC+触摸屏全自动控制，全套德高洁版控制软件。 　　注：水和风的加热方式：电加热，蒸汽、余热水或油的热交换器换热。 　　■布置方案

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