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Impedans Ltd. 生产的 Semion TM 减速场能量分析仪 用于测量在等离子体腔室中偏压表面的离子能量和离子流量。
Semion TM 系统包括减速场能量分析（ RFEA ）多栅探测器、腔室整体连接装置和控制单元。
RFEA 探测器安装于一个电极基片的 底座 上，可在从 测试片到样片 的加工条件下使用。
Semion TM 系统亦可使用于多种等离子源结构，如电容耦合、电感耦合、磁电管、 级联电弧 和远程源等。
Semion TM 系统可用于以下偏压条件下 ( 单频 , 双频 , 和多频 ) ：
? 接地
? 直流
? 悬浮
? 射频
? 脉冲 / 波形
该产品的一大特色就是能够在射频偏压表面上放置 RFEA 探测器。 RFEA 探测器类似于晶圆，可随着电极移动，测量该表面的离子流量和离子能量。 |