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XRF,俗称X荧光，又常被叫做ROHS检测分析仪，6P分析仪，无铅检测仪器，无卤素检测仪等。主要用于检测认证公司及企业在环保法规指导下的rohs，reach的初步筛选无损检测。工作原理为物品中的原子在X射线下发出特征荧光来测量元素的含量。但由于方法和干扰因素，ED-XRF并不能做测量，置信区间大概在70per左右。虽然测量不是很，但较化学分析仪器胜在测量速度快，1~3分钟完成检测，可做快速筛选之用。若企业须检测，则要使用GCMS，ICP/AA，UV等仪器（国际通用方法）。其中GCMS气质联用仪可分析PBB，PBDE多溴联苯/醚、Pahs多环芳烃和邻苯二甲酸盐等有机物，ICP/AA则用于测试有还重金属如铅（Pb），镉（Cd），汞（Hg）砷（As），硒(Se)，钡（Ba）,锑(Sb)等，UV紫外可见光分光光度计测试6+铬（Cr）。

目前企业使用较多的国外品牌有：岛津EDX-GP，EDX-720,精工SEA1200VX，SEA1000A，日本电子JSX3400RII 3100RII和斯派克SPECTRO XOPES, MIDEX等。

随着ROHS法令的盛行，XRF，GCMS，ICP，AA等rohs检测仪器越来越被广大电子生产企业所使用。然而在购买过程中由于企业都因刚接触而对仪器市场不了解，仪器销售就把自己的产品吹的天花乱坠，价格自然而然的高，以至于企业花很多冤枉钱买了不适用的仪器，有时甚至要重新购买！