?????1.真空度测 量范围：??? 9.999×10-1～1×10-5
??? ?2.离子电流测量范围：??? 9.999×10-1～1×10-7
???? 3.测? 量?? 误? 差：??? ＜10%
???? 4.测 量 分 辨 率：??? 10-5pa
?????5.允许环 境温 度：??? -20℃～50℃
???? 6.空? 气? ?湿? 度：?? ?≤80%RH
?? ? 7.电?????? ??? 源：??? AC，220V，50Hz±10%
???? 8.外? 型?? 尺? 寸：??? 420×290×210（mm）
???? 9.高? 压 ? 输? 出：??? 脉冲30kV15kHz
???? ⒑重???? ????? 量：??? 8kg