激光混合气

一切以气体或蒸汽作为激光工作物质的激光器，统称为气体激光器。这是目前种类最多、发展最快、应用最广的一类激光器。通常可以把气体激光器划分为原子气体激光器、离子气体激光器、分子激光器和准分子激光器。气体激光器的激励方式很多，通常采用气体放电激励，此外还可采用电子束激励、气动式激励、化学激励、光激励和核动激励等。气体激光器与液体激光器、固体激光器和半导体激光器一样，已经实现了实用化。它已广泛用于工农业生产、科学研究、国防建设和医疗卫生等领域。气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在，将导致激光输出功率在镜（面）和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦（He）-氖（Ne）激光作为代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪（KrF）激光，可称为第三代激光。

常见激光混合气的组成和主要用途

类别

混合气组成（10-2）

用途

H2

Ne

Ar

N2

CO2

Kr

F

Xe

CO

HCL

平衡气

氦-氖激光混合气

2.0-8.3

He

用于工业生产、科学研究和国防建设等领域

二氧化碳激光混合气

0.4

13.5 13.0 8.0 6.0 16.0 8-12

4.5 7.0 8.0 8.0 16.0 6-8

2.0 4.0 4

He He He He He He

主要用于激光加工、如金属、陶瓷的切割、焊接与钻孔以及医疗上用的激光外科等

氪-氟激光混合气

5

10 1-1.2

He He

用于保护膜暴光以及化学反应等领域。贮存器制造中的石板印刷已开始使用氟化氪激光

密封束激光混合气

18.5

3

2.5

H2

作研究用的密封激光器

准分子激光混合气

25.8

9.8

0.004

1 5 0.2

5

Ar He He Ar

准分子激光器用于医疗上的外科手术