准分子激光气体

“准分子”是指在激发态能暂时结合成不稳定分子，而在基态又离解成原子的缔合物。准分子激光器广泛应用于同位素分离、光化学、医学、生物学、微电子工业、军事上。 准分子激光气体用在准分子激光器上的激发气体，准分子激光器种类繁多，如按光波上分类大概分红外与紫外两种，我公司生产的准分子激光气体用于于紫外波长的准分子激光器上。过去的六年中，我们动用了大量的人力和物力研究和开发准分子激光的激发气体，并在2002年中通过产品试验，批量生产，现已形成了3大系列45个品种的准分子激光产品系列（详见下表），产品投放市场一年多以来，以质优价廉、服务周到得到了众多用户的好评。另外，现阶段微加工最前沿的157mm激光器的激发气体也在紧张的开发当中。 本公司有一支高素质的气体配制队伍和精良的气体配制设备，可以根据客户提出的要求进行配制。

附：本公司准分子激光气体产品明细

激光波长	气体基本配方		产品	主要用途
	微量组分	主要 组分	编码
193nm	0.2～0.3％Ar 9～11％ He 20～30％	Ne	ELG-V	准 分 子 激 光 设 备
	0.2～0.25％Ar 3～5％	Ne	ELG-X
	0.1～0.2％Ar 1～3％ He 2～3％	Ne	ELG-C-1
	0.1～0.2％Ar 5～8％ He 2～4％	Ne	ELG-C-2
	0.1～0.3％Ar 5～8％	Ne	ELG-S-1
	0.2～0.3％Ar 5～8％ He 2～4％	Ne	ELG-S-2
	0.2～0.4％Ar 6～10％ He 25～32％	Ne	ELG-N
	0.1～0.4％Ar 3～10％ He 3～25％	Ne	ELG-B
	0.1～0.3％Ar 2～8％ He 5～12％	Ne	ELG-L
	0.2～0.3％Ar 2～10％ He 3～8％	Ne	ELG-SC