四氟化硅
A colorless,poisonous,corrosive gas.(一种无色,有毒,腐蚀性气体)
Formula（分子式）: SiF4
Molecular weight(分子量)： 104.08
Boiling point(沸点): -90.2℃,-130.36°F;
Melting point(融点): -95.7℃,-140.26°F.
Vapor Pressure(蒸汽压): 6895Kpa(21.1℃);1000Psia(70°F)
Specific Volume(比容)： 0.23m3/kg(21.1℃,101.325KPa)
3.7ft3/lb(70°F,14.696psia)
Threshold Limit Value(人体的容许浓度)： 0.8ppm
UN Number(UN号码)： UN1859
DOT Classification(DOT类别)： 2.3(Poison Gas)(有毒气体)
DOT Label(DOT标签)： POISON GAS AND CORROSIVE GAS(有毒气体,腐蚀性气体)
Cylinder Connection(钢瓶接口)： CGA/DISS/JIS--330/642/W22-14L
Grsde(级别) 4N
Purity(纯度) 99.99％
Guaranteed Specification(保证规格)
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Impurity(非组分) |
Specification(标准) |
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Oxygen(氧)+Argon(氩) |
≤1 ppmv |
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Nitrogen(氮) |
≤3 ppmv |
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Carbon Dioxide(二氧化碳) |
≤1 ppmv |
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Carbon Monoxide(一氧化碳) |
≤0.5 ppmv |
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Hydrogen Fluoride(氟化氢) |
≤50 ppmv |
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Methane(甲烷) |
≤10 ppmv |
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Arsenic(砷) |
≤0.5 ppmv |
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Boron(硼) |
≤0.5 ppmv |
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Phosphorous(磷) |
≤0.5 ppmv |
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Cylinder Size(liter)钢瓶体积(升) |
Content(Kg,lbs)气含量(公斤,磅) |
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43.8 |
22.7,50 |