硅烷、
A colorless,flammable,high pressure gas.(一种无色,易燃,高压气体)
Formula（分子式）: SiH4
Molecular weight(分子量)： 32.12
Boiling point(沸点): -111.5℃,-168.7°F;
Melting point(融点): -185℃,-301°F.
Vapor Pressure(蒸汽压): 8274Kpa(21.1℃);1200Psia(70°F)
Specific Volume(比容)： 0.755m3/kg(21.1℃,101.325KPa)
12.1ft3/lb(70°F,14.696psia)
Lower Flammable Limit(可燃性含量)： 0.8％
Upper Flammable Limit(可燃性含量)： 98％
Threshold Limit Value(人体的容许浓度)： 0.5ppm
UN Number(UN号码)： UN2203
DOT Classification(DOT类别)： 2.1(Flammable Gas)(可燃性气体)
DOT Label(DOT标签)： FLAMMABLE GAS(可燃性气体)
Cylinder Connection(钢瓶接口)： CGA/DISS/JIS--350/632/W22-14L
Grsde(级别) 6N
Purity(纯度) 99.9999％
Guaranteed Specification(保证规格)
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Impurity(非组分) |
Specification(标准) |
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Oxygen(氧)+Argon(氩) |
≤0.06 ppmv |
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Nitrogen(氮) |
≤0.5 ppmv |
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Carbon Dioxide(二氧化碳) |
≤0.05 ppmv |
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Carbon Monoxide(一氧化碳) |
≤0.05 ppmv |
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Helium(氦) |
≤1 ppmv |
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Water(水) |
≤0.1 ppmv |
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Hydrogen(氢) |
≤20 ppmv |
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Disilane(乙硅烷) |
≤0.5 ppmv |
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Disiloxane(二甲硅醚) |
≤0.05 ppmv |
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C2-C4(碳2--碳4) |
≤0.1 ppmv |
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Methane(甲烷) |
≤0.05 ppmv |
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Total Chlorosilanes(总氯硅烷) |
≤0.1 ppmv |
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Cylinder Size(liter)钢瓶体积(升) |
Content(Kg,lbs)气含量(公斤,磅) |
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43.8 |
12,26.4 |