技术人员为降低普通涂层中大颗粒的数量和尺寸，提高涂层的抗剥落性、抗氧化温度和成膜速率，在钪-氮、铝-钪-氮涂层中沉积1层铈 -钇，同时在制备方法上采取含铈-钇质量百分比为0.5%~3％的钪靶和一定原子比的钪-铝靶，通过蒸发、电离方式向真空室内输送氮气，进行含铈-钇的钪涂层和铝-钪-氮涂层地沉积。该涂层可在高精度、高速切削、干式切削等加工领域应用。
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