气体说明
规格
杂质含量(Ppm)
标准号
高纯氩
99.9996%
O2≤1,N2≤2,H2≤0.5THC≤0.5,H2O≤1
GB/T10624-1995
99.999%
O2≤2,N2≤5,H2≤1THC≤2,H2O≤4
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