107JE精密测量显微镜
一、仪器用途
107JE测量显微镜是一种小型二维数显测量的计量仪器,107JE测量显微镜主要采用透、反射照明方式,通过观察和数显系统对精密件的几何量(长度、角度)进行观察、分析、测量。特别适用于大规模集成电路线宽、小型零件(如钟表零件)及其他精密件几何参数的测量。107JE测量显微镜可以连接CCD进行影像测量。仪器体积小、重量轻、可广泛应用于计量室、生产作业线以及科学研究部门。
二、仪器规格
(一)测量范围 X:150mm;Y:100mm
(二)工作台尺寸: 355×240mm (玻璃台面尺寸:210×175mm)
(三)数显分辨率: 0.0005mm
(四)仪器的回程误差: 0.002mm
(五)仪器测量准确度: ≤(3+L/75)um(L为被测长度)
(六)仪器的质量: 32.5kg
(七)仪器外形尺寸: 420×550×600mm
(八)输入电压: AC220/50Hz ±10%(工作照明电压5V/LED
(九)光学基本参数 无限远光学系统(正像)
物镜(长工作距离平场物镜)
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目镜
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总放大倍数
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视场直径(mm)
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放大倍数
数值孔径
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工作距离(mm)
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放大倍数
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视场直径(mm)
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5×/0.15
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14.47
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10×
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25
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50×
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34
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10×/0.25
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16.01
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镜筒
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100×
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17
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20×/0.40
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10.5
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三目镜筒:倾角30°,瞳距和屈光度可调 ,1/2”CCD适配镜(C接口、可连接CCD和数码相机进行影像测量)
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200×
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8.5
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50×/0.55
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5.1
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500×
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3.5
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(十)照明光源
1.反射照明: 5V, 3W (LED可调光)
2.透射照明: 5V, 1W (LED可调光)