1.使用高介电常数的材料制造电极，提高加工精度。

　　2.改善冷却条件，采用水冷或双极冷却。

　　3.降低气源露点，提高气源洁净度。

　　4.提高臭氧电源的驱动频率，降低电耗。

　　5.采用智能控制，并对运行工况再线监测。[编辑本段]臭氧发生器气源

　　臭氧发生器常用的气源大体可分为下列几种：

　　1)干燥空气气源--无油的压缩空气经过冷却、干燥、过滤处理后作为原料气使用；

　　2)富氧气源--无油压缩空气经过冷干处理送入PSA空分系统将氮气和氧气分离，并将氧气收集作为原料气(此原料气含有惰性气体和二氧化碳及少量氮气，并非纯氧气所以称为富氧源)；

　　3)工业氧气源--通常使用瓶装工业氧气(大多适用于小型臭氧发生器)；

　　4)液氧--液态氧经过汽化器汽化减压后送入臭氧发生器作为原料气(常用于大型上海臭氧发生器)。