UHR-2001型号
UHR-2001可以用于单个器件或者JEDEC托盘的测试并输出高像素，清晰的图像。为实现的空间解析度，UHR-2001可以设定0.5微米扫描步进同时改进的滚珠设计提高了定位度。
UHR-2001出色的线性伺服电机实现在高速下平滑稳定的运动和极高的往返精度。直接装载在伺服电机上的变频器减少了需要皮带传输带来的震动。不同于扫描系统，聚焦系统独特的设计简化了繁冗的机械结构，这些改进显著地较少了伺服电机的负荷，极大的减少了震动，实现具有良好控制功能的聚焦系统。
UHR-2001通过了SEMI S2和CE认证，新的设计简化了机械结构与操作难度，这些特点有：
l DPR500 - DPR-500提供更宽范围的扫描频率和实现完全软件控制。软件可以设定的参数有：应用电压，放大，衰减，能量，低通滤波，高通滤波，采集模式(E/T)，触发。模块化设计能实现多个功能模块的添加，优化线路布局和简化了操作。
l 搜索管锁定装置和刻度 - 锁定装置让用户可以调整搜索管到正确位置然后锁定，实现自动化扫描。搜索管上有刻度，可以方便重新定位。
l 不锈钢托盘 - 不锈钢托盘具有极高的平整度保证极短工作距离下的测试，同时压力夹减少了JEDEC托盘的形变。
l 防静电保护功能 - 具有两个左右两个接地端和两根接地插头方便接地。
l 变频器夹具- 变频器夹具用于变频器存储和辨识提供有通风，排水功能。
规格
扫描轴
l 器件定位：线性伺服电机
l 电机最快速度： 830 毫米每秒
l 电机移动往返精度：+/- 0.5 微米
l 电机编程精度：0.5 微米
l 行程：315 毫米
步进轴
l 器件定位：无后座力低电磁干扰螺纹导程微动电机
l 步进精度：0.25微米
l 行程：160毫米
聚焦轴
l 器件定位：无后座力低电磁干扰螺纹导程微动电机
l 聚焦精度：0.5微米
l 行程：14.5毫米
夹具
l JEDEC托盘夹具
l 扫描平台
l 选项：穿透法变频器用的防触碰夹具
浸没箱
l Acrylic材质水箱（含泵和30 微米过滤器和彻底排水底部附件）
超声部件
l 带 L2/H2 脉冲发生器的DPR500 接受器
l 更宽频率范围接收器的U2 脉冲发生器
l HF套件
附件
l 电脑和仪器柜，带脚轮和水平脚
l 通过认证的紧急制动和安全锁功能
l 人性化样品装载和用户控制