样品变温台
特点
低噪声直流驱动
隔离套装实现PA级电信测试精度
隔绝水循环保护chuck底座
可以在绝大多数探针台上加装
易于装卸,无需转接部件
规格
真空吸附载物台的尺寸
4, 6, 8,英寸直径,1英寸厚度
Chuck 平整度
+ -10 微米
控温范围
常温到200摄氏度
控温精度
0.1℃
温度稳定度
100 ℃ + - 0.5 ℃
200 ℃+ - 1 ℃
从25 ℃开始升温时间 100 ℃ 150 ℃ 200 ℃
(4 英寸chuck,单位为分钟:秒 ) 2:00 3:30 5:00
电源
直流
材质
不锈钢
需求
供电
110 VAC, 60Hz ;220 VAC, 60Hz
电力消耗
4英寸chuck 700W
6英寸chuck 1000W
8英寸chuck 1500 W
真空
-250 mmHg, 7 liter/min
循环水
20 Liter/Min
尺寸
控制器 350mm长 x 300mm宽 x 150mm高
重20 Kg
附件
高温配件,可以升温至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃
低温配件,可以冷却至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低温至-196 ℃
用于其他品牌探针台的安装转接口
方形chuck
更高温度控制精度
更高温度均匀性
加速升温配件
水冷箱
更低电流测试用的屏蔽装置
液晶套装
真空腔体
测试屏蔽腔体
测试平台
带脚轮的仪器柜
真空吸附的chuck
镀金的chuck
镀镍的chuck
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