低温和高温测试探针台

真空环境高低温测试技术

以下两个应用需要真空测试环境。

极低温测试:

因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。

高温无氧化测试：

当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。

晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与晶圆电极间会有相对位移，这是需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。

SCG-4特点：

载物Chuck 温度范围：4K-480K

外置4个定位针臂，预留2个

探针X-Y-Z三方向移动，行程：25mm，定位精度：10微米

最多可以外置6个定位针臂

载物chuck 可到2寸

双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度

针臂定位精度可以升级为0.7微米

极限真空到10-10 torr

可以选择射频配件做67 GHz的射频测试

可以选择防震桌

可以选择超高真空腔体

客户订制

温控规格:

控温范围4K-480K

控温精度0.1K

温度稳定性

4 K + - 0.2 K
77 K + - 0.1 K
373 K + - 0.08 K
473 K + - 0.1 K
823 K + - 0.2 K(可选)
973 K + - 1.0K(可选)

常温到8K冷却时间:
1小时40分钟

8K到常温升温时间:
1小时30分钟

从常温开始的升温时间
200 ℃ 550℃ 700 ℃

(4 chuck，单位分：秒)
1:00 1:30 2:00

电源直流
材质不锈钢
功率(4chuck)850W

机械规格

针座行程

X轴方向25.4mm(1 inch)
可以选择50.8mm

Y轴方向25.4mm(1 inch)
可以选择50.8mm

Z轴方向25.4mm(1 inch)
可以选择50.8mm

移动精度

X轴方向10 micron
可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron

Y轴方向10 micron
可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron

Z轴方向10 micron
可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron

探针可旋转角度+-10 度
可以选择+-30 度

光学部件规格

显微镜X-Y轴方向行程2"*2"
可以选择4"*4"
总共放大倍率240X
可以选择更高倍率
真空腔观察窗口2 inch
外部石英材质99%红外线穿过率
内部吸收红外线仅可见光通过

光源
150W可连续调节

双光纤导引

可选附件

防震桌

方形chuck

分子泵组

射频部件

Chuck可外部移动装置

客户定制