型号:SH-8 分析探针台

特点
同轴驱动CHUCK
可以升级做射频测试
20X~4000X 光学显微放大
无后座力移动
针座平台可以快速升降便于wafer取放
针座平台可以微调升降便于探针卡再定位

规格
真空吸附型Chuck8" 不锈钢
Chuck X-Y轴行程8" x8"
Chuck 旋转角度0~30 度
针座平台上下粗调行程6mm 通过升降杆调整
针座平台上下细粗行程25 mm 通过旋转手轮
针座平台可以放置12 针座
显微镜X-Y轴行程1" x1"

需求
电力110 VAC, 60Hz
真空-250 mmHg, 7 liter/min

尺寸
780mm长 x 660mm宽 x 700mm高（带显微镜）
重 80 Kg（带显微镜）

可选附件
Chuck快速拉出装置
显微镜倾仰装置
激光切割
探针卡夹具
加热台
防震桌
暗场 / Normarski 检测
带真空底座的活动Chuck
光强/波长测试接口部件
射频测试探头和线缆
有源探头
底电流/电容测试
高压测试
超声切割
视频系统
显微拍照系统
封装器件夹具
PCB板夹具
液晶套装
屏蔽箱
测试平台
带脚轮的仪器柜
真空吸附型Chuck
镀金Chuck