BenchMark 450 主要技术参数
XY 精度:E2=(2.5+5L/1000)微米
Z 精度:E1=(2.0+8L/1000)微米 （ 带TTL激光和可选5倍镜头）
英制单位
公制单位
测量范围
18" X18"X6"
450X450x150毫米
尺寸
48" X45"X67"
1210X1140X1700毫米
负载能力
65千克
台面分辨率
0.5微米
光学
双重放大(物镜 X)
低
0.8
1.0
2.5
5.0
10.0
25.0
高
3.2
4.0
20.0
40.0
100.0
标配物镜
1X
可选物镜
0.8X,2.5X,5X
照明
LED 背光,LED 同轴面光
可选特征
多色可编程环形灯(PRL)
Ronchi 栅格自动ju jiao
TTL 激光
旋转分度工作台
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