半导体BA/EP级真空阀门-半导体真空蝶阀产品应用

奇高BA级蝶阀是采用旋转驱动的洁净蝶阀，密封板搭配Du特的设计，可完全隔绝粉尘，具有快速开闭、安装快速、尺寸小，寿命长等优点。

气动蝶阀的密封设计，可应用在需完全隔絶具污染及腐蚀气体制程中。BA级蝶阀阀门安装于各半导体领域。

半导体BA/EP级真空阀门-半导体真空蝶阀设计特征

? 旋转气缸驱动或手动，快速开启关闭

? Du特的气密设计

? 密封板位置指示器

? 任意安装方向

? 高气导

? 150万周期寿命

Body / P late / Shaft 材质

不锈钢 (Stainless steel)

奇高主要服务于半导体、平板显示器、太阳能、光电、真空镀膜、其他高性能真空系统、科研机构等高科技领域;多年来持续占有全球市场主要市场份额。奇高阀门专注于真空阀门领域，因其强大的研发创新和业界闻名的好品质，半导体芯片设备以及太阳能设备制造厂商都在其机台设备中大量采用了奇高公司的产品。

保固条件

1.自客户收到货品起一年内, 或到达产品设定的使用次数, 先到者为准

2.操作环境限于空气, 惰性气体及真空

3.因天然灾害, 错误操作造成的损坏及消耗品不在保固范围内