suu98p 激光器的主要特点是超高速和超强电场,激光脉冲的峰值功率非常高,一旦将这种光聚焦到很小的范围内就有可能无热影响地照射材料使其直接电离,从而产生强大的电场和磁场,激光照射在材料上时,材料对光子的吸收机理与普通激光加工时的光子吸收机理不同,同时,全光纤的结构也不需要自由空间光学元件的使用从而放松了在传统激光器中严格的校准和机械稳定性要求,简化了激光器结构和使用,有助于实现激光器的小型化,提高激光器的稳定性。
目前,人们可以通过多种方式获得单模激光输出,例如:减小腔体尺寸、DBR/DFB技术、Vernier效应等,按工作介质区分,激光器分为:气体激光器、液体激光器、固体激光器、半导体激光器、光纤激光器等,光纤激光器占工业激光器的份额比例从2009年的13,随着激光器性能的改善和新型激光器的出现,激光在超大规模集成电路方面的应用已经成为许多其他工艺所无法取代的关键技艺,为超大规模集成电路的发展展现出令人鼓舞的前景。
相较于固体激光器、气体激光器、半导体激光器等具备明显的领先地位,光纤激光器具有输出激光光束质量好、能量密度高、电光效率高、使用方便、可加工材料范围广、综合运行成本低等诸多优势,按照工作物质进行划分,激光器可以分为固体激光器,Nd:YAG、Nd:YVO4、Yb:YLP等;半导体激光器等等;气体激光器,包括了CO2激光器、He-Ne激光器等;以液体染料作为泵浦源的液体激光器。