tzxnef高纯氮气的特性和功能:
绵阳高纯氮气用作集成电路、半导体和电子真空器件制造中的保护气体和载气,化学气相沉积的载气,液体扩散源的载气,高温扩散炉中器件的保护气体。高纯氮气在外延、光刻、清洗、蒸发等工艺过程中用作置换、干燥、储存和运输的气体。
在使用过程中,应每班检查储罐的压力。当压力接近设备使用要求的上下限,达到或接近氩气储罐的下储量时,应增加观测频率,并及时汇报更换。
增压操作:当罐压接近设备使用要求的下限时,启动增压阀进行增压。操作程序为:缓慢打开增压阀,当罐内压力表指示达到设备正常工作压力,且低于罐内较大工作压力时,关闭增压阀。
使用过程中,随时观察储罐的液位。当液位低于红线时,关闭储罐的调压阀,停止使用储罐中的氩气。
南充氩气钢瓶在使用过程中,当液体排出或出现液体泄漏故障时,禁止用液氩直接接触皮肤,以防冻伤。
清洗管道和蒸发器结霜时,不要用力撞击,以防管道变形、泄漏和密封失效。
严禁对氩气储罐外壳进行硬冲击、切割、钻孔、焊接等操作,以防破坏储罐真空度。