由于普通罗茨真空不能单独使用必须配备前级泵，可采用往复式真空泵、油封式真空泵、液环式真空泵等作为前级泵。因此罗茨真空泵可以使用在真空度为0.01 pa～5000pa左右的任何真空处理工艺上。 一般对于可单独使用的真空泵，在单独使用时该真空泵就是主泵；对于罗茨真空泵机组而言，可分为主泵和前级泵，所谓主泵就是与系统直接相连的真空泵，通常罗茨真空泵为主泵，它在对系统抽真空时起主要作用。前级泵是指其进气口与主泵直接相连，排气口与大气直接相连的泵为前级泵，前级泵的作用是必须及时将主泵排出的气体抽掉并排入大气。

b）滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而把泵腔分成两个可变容积。 c）定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上、下滑动将泵腔分成两个可变容积。 d）余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。 e）多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。

这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。 1）吸附泵 它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。 2）吸气剂泵 它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。 3）吸气剂离子泵 它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。