利用机械运动（转动或滑动）来获得真空的泵，均称为机械真空泵。机械真空泵按其工作原理和结构特点可分为下列几种： 1、变容真空泵： 它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气的目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式二种类型。 （1）往复式真空泵： 利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出。该产品又称为活塞式真空泵。 此类产品的极限真空一般为1330pa左右，正常工作压力为1330pa～105pa。主要用于抽除空气或含有少量可凝性气体，真空度要求不高的工艺流程。如真空吸塑成型、真空浓缩、真空浸渍、物料的真空输送等工艺流程。

⑴分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式： ①牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。 ②涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。 ③复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合式分子真空泵。 ⑵喷射真空泵：它是利用文丘里（Venturi）效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞流和过渡流状态下工作。

这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。 1）吸附泵 它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。 2）吸气剂泵 它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。 3）吸气剂离子泵 它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。