质量流量控制器(MFC)用于精确测量和控制气体或液体的质量流量。扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子体刻蚀、溅射、离子注入,以及真空镀膜设备、光纤熔融、微反应设备、气体混合和气体分配系统、毛细管气相色谱仪、光纤制造设备。广泛应用于石油化工行业。冶金、制药等。特点:精度高,重复性好。
成都质量流量控制器
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