1、吸收设备　　吸收法采用低挥发或不挥发性溶剂对VOCs进行吸收，再利用VOCs和吸收剂物理性质的差异进行分离。
2、吸附设备　　在用多孔性固体物质处理流体混合物时，流体中的某一组分或某些组分可被吸表面并浓集其上，此现象称为吸附。

3、RTO/RCO 用于处理高浓度Voc与有恶臭的化合物很有效，其原理是用过量的空气使这些杂质燃烧，大多数生成二氧化碳和水蒸气，可以排放到大气中。
4、工业有机废气的低温等离子体的治理设备　　等离子体就是处于电离状态的气体，其英文名称是plasma，它是由美国科学 muir，于1927年在研究低气压下汞蒸气中放电现象时命名的。

不同类型的废气，使用的处理方法也有所不同，还有不少组合工艺，常用的比如：有机废气吸附-脱附-冷凝回收技术工艺、吸附浓缩+催化氧化技术工艺等等。