红外激光测厚仪简单介绍：

薄膜应力及基底翘曲测试设备：美国Frontier Semiconductor(FSM)成立于1988年，总部位于圣何塞，多年来为半导体行业等高新行业提供各式精密的测量设备，客户遍布全世界，主要产品包括：光学测量设备：三维轮廓仪、拉曼光谱、 薄膜应力测量设备、 红外干涉厚度测量设备、电学测量设备：高温四探针测量设备、非接触式片电阻及 漏电流测量设备、金属污染分析、等效氧化层厚度分析(EOT)

红外激光测厚仪应用：

1、衬底厚度(不受图案硅片、有胶带、凹凸或者粘合硅片影响)

2、平整度

3、厚度变化(TTV)

4、沟槽深度

5、过孔尺寸、深度、侧壁角度

6、粗糙度

7、薄膜厚度

8、环氧树脂厚度

9、衬底翘曲度

10、晶圆凸点高度(bump height)

11、MEMS 薄膜测量

12、TSV 深度、侧壁角度…

红外激光测厚仪产品简介：

1、利红外干涉测量技术，非接触式测量

2、适用于所有可让红外线通过的材料硅、蓝宝石、磷化铟、碳化硅、玻璃、石 英、聚合物…

更多产品信息来源：http://www.dymek.com.cn/

http://www.dymek.com.cn/Products-35226151.html

http://www.chem17.com/st110205/product_35226151.html