单级水环泵只适于进口压力为130-1013kPa的压力规划,紧缩比为1:7。若进口压力低于130kPa时,举荐运用双级水环泵。在双级泵中两个泵腔串联接通,工作腔容积比约为2.5:1。双级水环泵的极限压力取决于水的蒸气压力。假设在泵工作温度下的水蒸气压力为pH2O,进口压力为pA,几何抽速为Sth,水环泵机组,那么根据阅历,在压力低于130hPa时,泵的有用抽速为SA=Sth(1-pH2O/pA)考虑到油的蒸气压较低,山东水环泵,双级液环泵也可以用作油作为泵的工作液体,因而取得较低的极限压力。可是,在需要抽除许多水蒸气的时分,水环泵厂家,特别在粗抽和精油的情况下,因为油易于吸水构成一种乳化液,故液环泵在这种情况下很少运用油作为泵液。假设运用油作为泵液,在泵上还要配备一个油冷却设备,以便散除紧缩热。很少运用三级或多级的液环泵。可是,液环泵常和气体喷射器、水喷射器和罗茨泵串联运用
真空计算公式维持泵选择:
S维=S前/10
9、扩散泵抽速估算: S=3D2 (D=直径cm)
10、罗茨泵的前级抽速:
S=(0.1~0.2)S罗 (l/s)
11、漏率:
Q漏=V(Ptwo-P1)/(t2-t1)
Q漏-系统漏率(mmHg·l/s)
V-系统容积(l)
P1-真空泵停止时系统中压强(mmHg)
P2-真空室经过时间t后达到的压强(mmHg)
t-压强从P1升到P2经过的时间(s)
12、粗抽泵的抽速选择:
S=Q1/P预 (l/s)
S=2.3V·lg(Pa/P预)/t
S-机械泵有效抽速
Q1-真空系统漏气率(托·升/秒)
P预-需要达到的预真空度(托)
V-真空系统容积(升)
t-达到P预时所需要的时间
Pa-大气压值(托)
真空机组系统常用名称 (1)主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,2bv水环泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
(2)前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
(3)粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。
(4)维持泵:在真空系统中,气量很小时,不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作,此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵,就是维持泵。
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